GAS PHASE기상 기술

기상 기술

Gas Phase

"진공 대기압"함께 최적의 방법으로 제안!

유기 · 무기 (금속, 화합물, 산화물, 질화물)의 성막이 가능! 두께 1nm ~ 10μm의 치밀하고 고품질의 성막이 가능!

Previous Cases기술 가공 사례

고객의 검토되고있는 워크 재질이나 막 종, 막 두께에서 최적의 가공 예를 제안하고 있습니다. 크리에이티브 코팅 스의 기상 기술은 수지 원료 · 연료 전지 등의 "신소재 재료」 「에너지」, 의료기구 · 장비 등의 「의료 · 헬스 케어"전자 부품 · 새로운 디스플레이 등의 "모바일 단말 ""웨어러블 기기 ''자동차 '등 다양한 분야에서 활용되고 있습니다. 고객의 요구와 과제 해결에 필요한 기술이 여기에 있습니다.

대상 소재

유기물

고객의 의뢰

"수지에 코팅하고 싶다"

고온에 약한 소재에도 저온에서 증착이 가능합니다

무기물

고객의 의뢰

"유리, 세라믹, 금속에 코팅하고 싶다"

균일하고 밀착성이 좋은 성막이 가능합니다

수지 용기

고객의 의뢰

"수지 용기에 가식하고 싶다"

원하는 색상, 촉감 사이에서 신청이 가능합니다

필름 유리

고객의 의뢰

"필름 유리에 기능성을 갖고 싶어"

UV 차단 및 절연성 등 다양한 기능성을 부여 할 수 있습니다

분체

고객의 의뢰

"분말 코팅하고 싶다"

다양한 입자 크기를 갖는 분말에 성막함으로써 비용 절감과 기능 향상이 가능합니다

막 종

금속 막

고객의 의뢰

"금속 막을주고 싶다"

순도가 높은 금속 재료도 고순도를 유지하면서 밀착성이 좋은 성막이 가능합니다

합금 막

고객의 의뢰

"합금 막을주고 싶다"

요청의 조성 결정형에 맞춘 성막이 가능합니다

산화막

고객의 의뢰

"산화막을주고 싶다"

반사와 차광 투명 전극 등 다양한 참여 물질의 성막이 가능합니다

두께

1nm (나노)

고객의 의뢰

"나노 오더의 박막을주고 싶다"

치밀하고 균일하며 균일 한 초박막 증착이 가능합니다

초미립자

고객의 의뢰

"10㎚ 이하의 박막을주고 싶다"

10㎚의 분말에 균일하며 균일 한 코팅이 가능합니다

~1000nm

고객의 의뢰

"100nm ~ 1000nm의 박막을주고 싶다"

요청의 두께에 성막이 가능합니다

Technology system기술 방식

DEPOSITION

증착 방식

대상 카탈로그
PDF

CVD

CVD 방식

ALD

ALD 방식

대상 카탈로그
PDF

SPUTTERING

스퍼터링 방식

Coating apparatus코팅 장비

요청에 가장 적합한 기술 코팅 방법을 제안하겠습니다 고품질의 필름을 제공합니다

ALD 장비 /
CMVA series

ALD는 어렵다고 저온에서 고품질의 성막이 가능!

대상 카탈로그
PDF

배럴 형 ALD 장비 /
CMVB series

ALD 장비 및 배럴기구의 융합

대상 카탈로그
PDF

버블 링 CVD 장치 /
CMB series

액체 → 기체
  • 저온에서 저가 & 고품질 성막이 가능
  • 거의 모든 금속 산화막에 대응
성막 사양
  • 성막 온도 <300 ℃
  • 성막 속도> 100nm / min
응용 사례
  • 보호막, 절연막, 광학 필름

IBAD (이온 어시스트 증착법)
장비 / CMVI series

IBAD 의한 수탁 成膜例

종래 기술의 진공 증착법뿐만 아니라 이온 주입법을 곱한 양사가 가진 장점의 시너지 효과를 기대할 복합 기술입니다. 실온에서의 낮은 에너지 조사를 허용하고 터치 패널의 투명 도전 막 (ZnO)과 고 융점 금속 전극 형성의 밀착성이 향상.

Unit단위

플라즈마 소스

희망의 이온 라디칼을 공급

나노 버블 발생 디스크

세정 효과 특수 약품을 사용하지 않고 복잡한 형상이나 미세 형상에 대응
살균, 정화 효과 고농도의 산소 원 / 오존 원
분리 분산 효과 균일 미세 입경에 의한 균일 분산

Deposition Contract성막 수탁 서비스

다양한 공법으로 대응합니다
【드라이】 진공 증착기 · 스퍼터링 CVD
[습식】 스프레이 코터 딥

ALD에 의한 수탁 成膜例

성막 스펙

작업 : 웨이퍼 금속 (SUS, 알루미늄, 구리 등), 수지, 필름 기타
크기 : 한변 100mm 정도 있으면 형상은 묻지 않습니다

적응 막

SiO₂, Al₂O₃, TiO₂, HfO₂ 등

두께

100 ~ 1000nm